УНУ. Перечень методик измерений

Наименование методики

1.

Методика контроля ЭС по структурной однородности и равномерности распределения легирующей примеси по ЭС и по содержанию примесей с применением сканирующей зондовой и оптической микроскопии, рентгеноструктурного микроанализа

2.

Методика экспресс контроля электрофизических параметров твердых растворов (SiC)1-x – (AlN)x;

3.

Методика измерения свойств (электрические, оптические и структурные) гетерокомпозиций (SiC)1-x(AlN)x /6Н-SiC и установлена их зависимость от состава;